季华恒一_季华恒一（佛山）半导体科技有限公司

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季华恒一介绍：

季华恒一（佛山）半导体科技有限公司（简称季华恒一）是季华实验室（先进制造科学与技术广东省重点实验室）的科技成果产业化公司。公司于2021年6月22日成立，注册资本1000

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                  季 华 恒 一 _ 季 华 恒 一 （ 佛 山 ） 半 导 体 科 技 有 限 公 司 网 站 首 页 关 于 我 们 公 司 简 介 企 业 文 化 企 业 荣 誉 产 品 展 示 高 温 外 延 炉 离 子 注 入 机 S i C 高 温 激 活 炉 激 光 退 火 炉 快 速 退 火 炉 加 入 我 们 招 聘 岗 位 简 历 投 递 人 才 理 念 新 闻 中 心 公 司 新 闻 行 业 动 态 联 系 我 们 联 系 方 式 在 线 留 言 E N E N 中 文 A B O U T U S 公 司 介 绍 季 华 恒 一 （ 佛 山 ） 半 导 体 科 技 有 限 公 司 （ 简 称 季 华 恒 一 ） 是 季 华 实 验 室 （ 先 进 制 造 科 学 与 技 术 广 东 省 重 点 实 验 室 ） 的 科 技 成 果 产 业 化 公 司 。 
 公 司 于 2 0 2 1 年 6 月 2 2 日 成 立 ， 注 册 资 本 1 0 0 0 万 元 ， 是 一 家 集 研 发 、 生 产 、 销 售 和 服 务 于 一 体 的 半 导 体 装 备 高 科 技 型 企 业 。 
 查 看 详 情 P R O D U C T — —   产 品 展 示   — — S i C 离 子 注 入 机 长 寿 命 、 大 束 流 A l 离 子 源 设 计 制 造 技 术 高 效 离 子 束 传 输 光 路 技 术 高 温 高 效 自 动 靶 室 技 术 注 入 元 素 ： A l + 、 B + 、 P + 、 N + 晶 圆 尺 寸 ： 6 吋 （ 兼 容 4 吋 ， 光 路 满 足 8 吋 ） 晶 片 温 度 ： R T 5 5 0 ℃ 可 调 注 入 能 量 ： 1 0 k e V ～ 4 0 0 k e V （ 单 电 荷 ） 注 入 剂 量 1 E 1 1 1 E 1 6 / c m ² 高 温 高 能 A l 离 子 注 入 查 看 详 情   + S i C 高 温 外 延 炉 主 要 特 点 单 片 旋 转 生 长 ， 成 膜 均 匀 性 好 感 应 加 热 ， 升 降 温 速 度 快 耐 高 温 特 殊 材 料 生 长 室 ， 颗 粒 污 染 低 安 全 可 靠 性 高 ， 硬 件 和 软 件 双 保 险 关 键 技 术 指 标 晶 圆 尺 寸 : 4 时 / 6 吋 最 高 温 度 : ≥ 1 7 0 0 ° ℃ 生 长 速 率 : ≥ 6 0 u m / h 外 延 片 掺 杂 浓 度 不 均 匀 性 : ≤ 2 % 表 面 形 貌 缺 陷 密 度 : ≤ 0 . 1 5 个 / c m ² 适 应 工 查 看 详 情   + S i C 高 温 激 活 炉 主 要 特 点 非 金 属 式 电 阻 加 热 高 均 匀 温 场 超 洁 净 炉 膛 环 境 真 空 退 火 和 多 气 氛 退 火 技 术 指 标 基 片 尺 寸 ： 1 0 0 m m ， 1 5 0 m m 最 高 温 度 ： 2 0 0 0 ℃ 温 度 控 制 精 度 : ± 1 ℃ 恒 温 区 温 度 均 匀 性 : ± 1 ℃ 最 大 升 温 速 率 ： 1 0 0 ℃ / m i n 最 大 载 片 量 ： 5 0 片 / 批 适 应 工 艺 P + 离 子 注 入 激 活 退 火 查 看 详 情   + 快 速 退 火 炉 主 要 特 点 自 动 传 片 单 片 ， 闭 环 温 度 和 功 率 控 制 灯 管 预 加 热 功 能 操 作 简 便 技 术 指 标 基 片 尺 寸 ： 1 0 0 m m ， 1 5 0 m m ， 2 0 0 m m 工 作 温 度 ： 1 0 0 ℃ ～ 1 2 5 0 ℃ 升 温 速 率 ： 0 ～ 1 0 0 ℃ / s e c ( 可 编 程 ) 降 温 速 率 ： 0 ～ 1 0 0 ℃ / s e c ( 可 编 程 ) 控 温 精 度 ： ± 1 ~ 2 ℃ 温 度 重 复 性 ： ± 1 ℃ 适 应 工 艺 离 子 注 入 后 快 速 退 火 欧 姆 接 触 查 看 详 情   + S i C 激 光 退 火 炉 激 光 加 热 低 热 预 算 局 部 退 火 ， 高 温 作 用 深 度 浅 ， 不 影 响 背 面 器 件 结 构 惰 性 气 氛 保 护 退 火 晶 圆 尺 寸 ： 4 吋 / 6 吋 / 8 吋 支 持 片 厚 ： 1 0 0 μ m ， 1 5 0 μ m ， 厚 片 比 接 触 电 阻 值 ： ≤ 3 E 5 Ω c m ² 比 接 触 电 阻 面 内 一 致 性 ： ＜ 5 % 最 大 产 能 ： 1 5 片 / 小 时 S i C 欧 姆 接 触 的 制 备 查 看 详 情   + C A S E — —   订 制 皮 具   — — S i C 离 子 注 入 机 长 寿 命 、 大 束 流 A l 离 子 源 设 计 制 造 技 术 高 效 离 子 束 传 输 光 路 技 术 高 温 高 效 自 动 靶 室 技 术 注 入 元 素 ： A l + 、 B + 、 P + 、 N + 晶 圆 尺 寸 ： 6 吋 （ 兼 容 4 吋 ， 光 路 满 足 8 吋 ） 晶 片 温 度 ： R T 5 5 0 ℃ 可 调 注 入 能 量 ： 1 0 k e V ～ 4 0 0 k e V （ 单 电 荷 ） 注 入 剂 量 1 E 1 1 1 E 1 6 / c m ² 高 温 高 能 A l 离 子 注 入 查 看 详 情   + S i C 高 温 外 延 炉 主 要 特 点 单 片 旋 转 生 长 ， 成 膜 均 匀 性 好 感 应 加 热 ， 升 降 温 速 度 快 耐 高 温 特 殊 材 料 生 长 室 ， 颗 粒 污 染 低 安 全 可 靠 性 高 ， 硬 件 和 软 件 双 保 险 关 键 技 术 指 标 晶 圆 尺 寸 : 4 时 / 6 吋 最 高 温 度 : ≥ 1 7 0 0 ° ℃ 生 长 速 率 : ≥ 6 0 u m / h 外 延 片 掺 杂 浓 度 不 均 匀 性 : ≤ 2 % 表 面 形 貌 缺 陷 密 度 : ≤ 0 . 1 5 个 / c m ² 适 应 工 查 看 详 情   + S i C 高 温 激 活 炉 主 要 特 点 非 金 属 式 电 阻 加 热 高 均 匀 温 场 超 洁 净 炉 膛 环 境 真 空 退 火 和 多 气 氛 退 火 技 术 指 标 基 片 尺 寸 ： 1 0 0 m m ， 1 5 0 m m 最 高 温 度 ： 2 0 0 0 ℃ 温 度 控 制 精 度 : ± 1 ℃ 恒 温 区 温 度 均 匀 性 : ± 1 ℃ 最 大 升 温 速 率 ： 1 0 0 ℃ / m i n 最 大 载 片 量 ： 5 0 片 / 批 适 应 工 艺 P + 离 子 注 入 激 活 退 火 查 看 详 情   + N e w s — —   新 闻 中 心   — —   公 司 新 闻   行 业 动 态 喜 报 ！ 热 烈 祝 贺 我 司 被 认 定 为 南 海 区 半 导 体 及 集 成 电 路 企 业 季 华 恒 一 （ 佛 山 ） 半 导 体 科 技 有 限 公 司 通 过 2 0 2 3 年 度 南 海 区 半 导 体 及 集 成 电 路 企 业 认 定 审 查 ， 被 认 定 为 南 海 区 半 导 体 及 集 成 电 路 企 业 。 
 季 华 恒 一 迎 来 政 府 领 导 参 观 近 日 ， 佛 山 市 南 海 区 长 王 勇 和 桂 城 街 道 党 工 委 书 记 陆 文 勇 一 行 ， 莅 临 季 华 恒 一 （ 佛 山 ） 半 导 体 科 技 有 限 公 司 （ 简 称 “ 季 华 恒 一 ” ） 进 行 参 观 考 察 。 
 此 次 考 察 旨 在 深 入 了 解 季 华 恒 一 作 为 由 季 华 实 验 室 孵 化 出 的 高 科 技 企 业 的 发 展 状 况 和 创 新 实 力 。 
 季 华 恒 一 作 为 半 导 体 装 备 制 造 领 域 2 0 2 4 / 0 5 / 1 6 恒 一 携 手 知 名 投 资 机 构 ， 共 创 辉 煌 未 来 近 日 ， 科 技 创 新 领 军 企 业 季 华 恒 一 （ 佛 山 ） 半 导 体 科 技 有 限 公 司 （ 简 称 季 华 恒 一 ） 在 A 轮 融 资 中 迎 来 重 要 里 程 碑 。 
 公 司 成 功 吸 引 了 优 山 资 本 的 领 投 ， 并 同 时 获 得 季 华 璀 璨 （ 佛 山 ） 投 资 有 限 公 司 （ 简 称 季 华 璀 璨 ） 的 跟 投 。 
 这 一 战 略 投 资 不 仅 彰 显 了 市 场 对 季 华 恒 一 技 术 成 2 0 2 4 / 0 5 / 1 1 喜 讯 ！ 热 烈 祝 贺 我 司 被 认 定 为 “ 高 新 技 术 企 业 ” 季 华 恒 一 （ 佛 山 ） 半 导 体 科 技 有 限 公 司 是 一 家 致 力 于 宽 禁 带 半 导 体 和 新 能 源 领 域 研 发 和 生 产 的 企 业 ， 在 2 0 2 3 年 1 2 月 2 8 日 荣 获 高 新 技 术 企 业 称 号 。 
 该 荣 誉 的 获 得 ， 是 对 公 司 在 技 术 创 新 、 科 研 投 入 和 市 场 表 现 的 认 可 和 肯 定 。 
 “ 高 新 技 术 企 业 ” ， 是 指 在 国 家 颁 布 的 《 国 家 重 点 支 持 的 高 2 0 2 4 / 0 3 / 2 8 复 旦 大 学 宁 波 研 究 院 崔 峻 院 长 一 行 参 观 季 华 恒 一 ( 佛 山 ) 半 导 体 科 技 有 限 公 司 2 1 日 下 午 ， 复 旦 大 学 宁 波 研 究 院 崔 峻 院 长 一 行 来 到 季 华 恒 一 （ 佛 山 ） 半 导 体 科 技 有 限 公 司 考 察 调 研 ， 伍 总 热 情 讲 解 介 绍 。 
 复 旦 大 学 宁 波 研 究 院 崔 峻 院 长 一 行 了 解 第 三 代 半 导 体 关 键 装 备 制 造 过 程 ， 该 司 已 经 具 备 碳 化 硅 器 件 制 造 关 键 装 备 的 局 部 成 套 能 力 ， 这 在 国 内 民 营 半 导 体 装 备 公 司 2 0 2 3 / 1 1 / 3 0 1 3 4 1 5 1 3 9 8 4 6 （ 微 信 同 号 ） 公 司 地 址 佛 山 市 南 海 区 桂 城 街 道 港 口 路 2 3 号 2 0 座 1 0 2 房 电 子 邮 箱 g e o r g e . l i @ h y s e m i . t e c h 官 方 公 众 号 C o p y r i g h t @ 2 0 2 3 . A l l R i g h t s R e s e r v e d .   粤 I C P 备 2 0 2 2 1 0 4 3 9 7 号   技 术 支 持 ： 英 铭 佛 山 网 站 建 设 I C P 备 案 号 ： 粤 I C P 备 2 0 2 2 1 0 4 3 9 7 号   P o w e r e d b y Y C M S

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